純水不溶性顆粒計(jì)數(shù)器廠家

電子級(jí)超純水顆粒計(jì)數(shù)器

　　1.方案背景：超純水，又稱UP水，電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。

　　常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

　　2.方案目的：用液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)超純水樣，并判定超純水固態(tài)懸浮粒子的大小和數(shù)量。以此來判定超純水是否合格。

　　3.檢測(cè)儀器： 液體顆粒計(jì)數(shù)器，采用第八代雙激光窄光傳感器，雙精密計(jì)量泵研發(fā)而成，是一種高精度、高靈敏度的檢測(cè)儀器，能夠準(zhǔn)確測(cè)量超純水中的顆粒數(shù)量和大小。采用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)和數(shù)據(jù)處理算法，能夠快速、準(zhǔn)確地完成檢測(cè)任務(wù)。

　　4.檢測(cè)步驟：取200mL超純水水樣；放置到儀器取樣位置；打開控制電腦，操作軟件；設(shè)置5秒鐘檢測(cè)一次；重復(fù)測(cè)樣4次，取掉第一次檢測(cè)數(shù)據(jù)，取后3組數(shù)據(jù)平均值作為檢測(cè)結(jié)果；輸出數(shù)據(jù)結(jié)果。

　　5.結(jié)果解讀與判定

　　通過液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)得到的數(shù)據(jù)，可以直觀地反映超純水的純凈度。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)要求，可以對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行解讀和判定，從而確定超純水是否滿足清洗晶圓的需求。

　　6.注意事項(xiàng)

　　在使用液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行超純水檢測(cè)時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：

　　首先，要確保儀器的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，定期進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)；

　　其次，要遵循正確的操作流程，避免誤操作和誤差的產(chǎn)生；

　　最后，要及時(shí)記錄和分析檢測(cè)結(jié)果，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并采取相應(yīng)的措施。

　　7.定期監(jiān)測(cè)與評(píng)估

　　為了保障超純水質(zhì)量的持續(xù)穩(wěn)定，需要定期對(duì)超純水進(jìn)行監(jiān)測(cè)和評(píng)估。通過定期使用液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題。

純水不溶性顆粒計(jì)數(shù)器廠家